4月16日,能源科学与技术学院特邀中国科学院院士、大连理工大学彭孝军教授,作题为“EUV光刻胶研究进展”的学术报告。本次报告由国家杰青、中科院过程工程研究所何宏艳研究员主持,能源科学与技术学院、柔性电子学院等学院的教师及学生参会。

报告中,彭孝军院士围绕极紫外(EUV)光刻胶这一前沿领域,系统梳理了该领域的研究难点与最新突破。他重点强调,高性能光刻胶材料供给短缺已成为国内EUV光刻胶产业化研发的关键制约因素,并详细梳理了团队基于分子工程策略开展的系统性研究与技术探索。报告立足行业发展前沿,紧密贴合产业现实需求,为在场师生搭建起基础研究与产业应用融通衔接的认知桥梁,兼具重要的学术参考价值与产业实践指导意义。
互动交流环节,现场师生踊跃提问,彭孝军院士耐心回应,围绕金属氧簇材料的合成稳定性、光刻胶产业化的路径探索、自由电子激光大装置在光刻性能评价中的应用前景等热点议题,与师生们展开了深入探讨与细致交流。交流中,彭院士寄语青年研究者,勇于突破传统思维,大胆探索新材料体系,夯实基础研究,为我国自主可控半导体制造技术的发展筑牢根基。

此次学术报告是能源科学与技术学院“高水平学术讲堂”系列活动的重要组成部分,为师生提供了与顶尖学者面对面交流学习的宝贵契机,有效拓宽了师生们的学术视野,激发了科研创新热情。
彭孝军,大连理工大学教授,中国科学院院士。中国化学会创始会士、常务理事,中国化工学会会士、精细化工专业委员会主任、日用化学品专业委员会主任、电子化学品专业委员会副主任,中国石油和化学工业联合会高端专用化学品专家委员会主任。发表论文500余篇,授权国内外发明专利120余项,参与起草国家标准20余项、ISO国际标准5项。作为第一完成人,获2013年国家自然科学二等奖和2006年国家技术发明二等奖,以及4项省部级一等奖/特等奖。2001年获国务院政府特殊津贴,2007年获国家杰出青年科学基金。2008年被评为全国化工优秀科技工作者,2016年被评为全国优秀科技工作者,2017年当选中国科学院院士,2020年获全国创新争先奖,2023年获全国五一劳动奖章。多年入选Clarivate全球“高被引科学家”。